SEM-Base VI 用于SEM的主動式壓電陶瓷振動 消除地面式平臺
- 型 號:SEM-Base VI
- 名 稱:SEM-Base VI 用于SEM的主動式壓電陶瓷振動 消除地面式平臺
- 英文名稱:
- 品 牌:TMC
- 發(fā)布時間:2023/8/31 13:02:02
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產品詳情
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下載中心
SEM-Base VI 用于SEM的主動式壓電陶瓷振動 消除地面式平臺
SEM-Base VI是TMC STACIS主動壓電振動*除產品系列的新一代產品。SEM-Base VI設計用于承載所有商業(yè)掃描電子顯微鏡(SEMs)、多數(shù)聚焦離子束顯微鏡(FIB)及小型雙光束設備。SEM-Base VI可以提供升級版的振動隔離性能及更快更*勁的控制器,帶有*級圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI讓越來越多的實驗室、工廠可以實現(xiàn)能夠滿足其關鍵設備所要求的地面振動水平。
SEM-Base VI采用獨特串聯(lián)結構,振動傳感器測量的是地面振動,不是負載振動。這樣就確保了負載諧振將不會限制平臺的振動隔離或者引起不穩(wěn)定性。振動傳感器采用低頻慣性速度傳感器,在測量亞Hz振動時具有*大的敏感度。加上TMC *特的壓電致動技術,SEM-Base VI即使在振動情況已經很好的地面上也可以實現(xiàn)*高水平的振動*除。
相比于之前的SEM-Base版本,SEM-Base VI的振動隔離能力平均來說增加了6dB,而且采用了TMC新一代控制器DC-2020,采用新式雙核處理器,為設備擁有者及研究者提供非常簡單易于使用的圖形用戶界面,可以快速進入系統(tǒng)并實現(xiàn)平和的操作心態(tài)。當通過Ethernet連接時,DC-2020在用戶的瀏覽器上即可實現(xiàn)SEM-Base圖形用戶界面,無需額外安裝軟件或者應用程序。當然用戶也可以通過控制器的板載式菜單驅動液晶屏(LCD)直接進行控制。
優(yōu)勢
硬式裝載技術
SEM-Base VI兼容 SEM 內部預裝的任何隔振系統(tǒng), 從 0.6Hz 開始主動*力消減地面低頻振動。
主動慣性振動*除
SEM-Base VI采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也可以達到高水平的振動衰減。
串行設計與壓電技術
*特串行設計加上高強度壓電技術,SEM-Base VI不但達到了寬至0.6Hz-150Hz的主動帶寬,更實現(xiàn)了慣性主動振動*除,2Hz以上的振動衰減可達90%以上。
*全集成式的單平臺設計
SEM-Base Vi設計與制造的集成化,將安裝平臺的工作簡化到了*致,簡單的定位與設置之后即可正常工作。
特色
- STACIS技術
- 主動慣性振動*除系統(tǒng)
- 895×1124×160 mm(35.25×44.25×6.3 in.)適合絕大多數(shù)商業(yè)SEMs
- 負載能力:408-1134 kg(900-2500 lb.)
- 隔振效率1Hz:40-70%
- 隔振效率2Hz:90%
- 隔振效率>3Hz:90-98%
- 6個主動自由度
- 安裝容易,調諧簡單
- 兼容所有設備內置的振動隔離系統(tǒng)
- 電源:100-240VAC,50/60Hz,<600W
- 是否需要空氣:非氣浮系統(tǒng)
- CE與RoHS認證
- *全集成式的單平臺設計
- 可安裝腳輪,輕松便攜移動,無需搬運
- 兼容SEM-Lift系統(tǒng)
應用案例
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產品分類
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